La serie RPJ se basa en una tecnología madura de generación de RF para ofrecer a los clientes fuentes de alimentación de RF con mayor potencia, mayor precisión y respuesta rápida. También cuenta con funciones como el ajuste de fase y el control de pulsos. Campos de aplicación: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, laboratorios, investigación científica, manufactura, etc. Procesos aplicables: deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD), grabado por plasma, limpieza por plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión por plasma, pulverización catódica por polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.
● Fulldigital control, with convenient and rich operation menu
● Pulse and pulse synchronization functions
● Equipped with CEX phase synchronization function
● Improve protectionfunctions
| Input | |
| Input voltage | 3ΦAC208V ± 10%, 3ΦAC380V ± 5%, 47~63Hz |
| Output | |
| Output frequency | 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz |
| Output power | 1.5kW~6kW |
| Output power regulation range | 1% ~ 100% |
| Output impedance | 50Ω +j0 |
| Output interface | N-type |
| Output mode | Continuous, pulse |
| Pulse frequency | 100Hz~20kHz |
| Duty cycle | 5%~95% |
| Performance index | |
| Power factor | 0.98 |
| Frequency stabilization accuracy | ±0.005% |
| Efficiency | 75% (At rated output) |
| Harmonic | <-45dBc |
| Spurious | <-50dBc |
| Control features | |
| External control interface | Analog, communication, synchronization |
| Communication mode | Standard configured RS485 communication interface, Ethernet CAT, industrial Ethernet can be extended. |
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