Fuente de alimentación de RF de la serie RPJ

La serie RPJ se basa en una tecnología madura de generación de RF para ofrecer a los clientes fuentes de alimentación de RF con mayor potencia, mayor precisión y respuesta rápida. También cuenta con funciones como el ajuste de fase y el control de pulsos. Campos de aplicación: industria fotovoltaica, industria de pantallas planas, industria de semiconductores, industria química, laboratorios, investigación científica, manufactura, etc. Procesos aplicables: deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD), grabado por plasma, limpieza por plasma, fuente de iones de radiofrecuencia, difusión por plasma, pulverización catódica por polimerización de plasma, pulverización catódica reactiva, etc.

Características
● Half-brick and rack mount options
● Fulldigital control, with convenient and rich operation menu
● Pulse and pulse synchronization functions
● Equipped with CEX phase synchronization function
● Improve protectionfunctions
Los parámetros principales
Input
Input voltage3ΦAC208V ± 10%, 3ΦAC380V ± 5%, 47~63Hz
Output
Output frequency13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
Output power1.5kW~6kW
Output power regulation range1% ~ 100%
Output impedance50Ω +j0
Output interfaceN-type
Output modeContinuous, pulse
Pulse frequency100Hz~20kHz
Duty cycle5%~95%
Performance index
Power factor0.98
Frequency stabilization accuracy±0.005%
Efficiency75% (At rated output)
Harmonic<-45dBc
Spurious<-50dBc
Control features
External control interfaceAnalog, communication, synchronization
Communication modeStandard configured RS485 communication interface, Ethernet CAT, industrial Ethernet can be extended.


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