PDB-sarja
RHH-sarjan RF-virtalähde

RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kehittyneeseen RF-generaattoriteknologiaan tarjotakseen asiakkaille suuremman tehon, tarkkuuden ja nopeamman vasteen omaavan RF-virtalähteen. Vaiheasetus, pulssiohjaus, digitaalinen viritys ja muita toimintoja. Sovellusalueet: aurinkosähköteollisuus, litteänäyttöteollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratoriot, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasman puhdistus, radiotaajuusionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointisputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.

Tärkeimmät ominaisuudet

● Puolitiili- ja räkkiasennusmallit
● Ota käyttöön täydellinen digitaalinen ohjaus kätevällä ja monipuolisella käyttövalikolla

● Taajuuden viritys, pulssi ja pulssien synkronointitoiminnot
● CEX-vaihesynkronointitoiminnolla

● Täydellinen suojaustoiminto

Tärkeimmät parametrit

Mallitiedot:

Syöttö	Tulojännite: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Erikoisvaatimuksia voidaan mukauttaa)
Syöttö	Tulotaajuus: 47~63Hz
Lähtö	Lähtötaajuus: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Viritysalue: ±5%
	Lähtöteho: 1,5–5 kW
	Lähtötehon säätöalue: 1~100%
	Lähtöimpedanssi: 50Ω+j0
	Lähtöliitäntä: tyyppi N
	Lähtötila: jatkuva, pulssi
	Pulssitaajuus: 100Hz~100kHz
	Käyttösuhde: 5–95 %
Suorituskykyindeksi	Tehokerroin: 0,98
	Taajuuden stabiilisuuden tarkkuus: ±0,005%
	Hyötysuhde: 75 % (nimellisteholla)
	Harmoninen:
	Harhaileva:
	Ulkoinen ohjausliitäntä: analoginen suure, tiedonsiirto ja synkronointi
	Viestintätila: Vakio RS485-tiedonsiirtoliitäntä; Valinnainen Ether CAT, teollisuus-Ethernet jne.
Huomautus: Tuotetta kehitetään jatkuvasti ja sen suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrikuvaus on vain viitteellinen.

PDB-sarjaRHH-sarjan RF-virtalähde

Tärkeimmät ominaisuudet

Tärkeimmät parametrit

Mallitiedot:

PDB-sarja
RHH-sarjan RF-virtalähde