L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF consolidata per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, precisione e risposta rapida. È dotato di funzioni quali impostazione della fase, controllo degli impulsi, sintonizzazione digitale e altro ancora. Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratori, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica in fase vapore assistita da plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering a polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.