MSDシリーズ
スパッタリング電源
01
- ●ラックへの設置
- ● 高速アーク応答、応答時間
- ● 底部エネルギー貯蔵、
- ●コンパクトな設置構造、3U標準シャーシ
- ●中国語/英語表示インターフェース、操作が簡単
- ●正確な制御
- ●幅広い出力範囲
- ●万全の保護機能
入力
- 入力電圧: 3AC380V±10%
- 出力:20kW、30kW
- 入力電源周波数: 50Hz/60Hz
出力
- 最大。 出力電圧: 800V
- 最大。 出力電流:50A、75A
- 出力電流リップル: ≤3% rms
- 出力電圧リップル: ≤2% rms
テクニカルインデックス
- 点火電圧: 1000V / 1200V オプション
- 変換効率: 95%
- アークオフ時間:
- 通信インターフェース:標準RS485 / RS232(PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherCATはオプション)
- 寸法(高さ*幅*奥行き)mm: 132*482*560、176*482*700
- 冷却モード:空冷
注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。 このパラメータの説明は参照のみを目的としています。
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MSD シリーズ スパッタリング電源-データシート
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