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MSB 시리즈
중주파 스퍼터링 전원 공급 장치
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- ● 완전 소프트 스위칭 기술과 3세대 반도체 SiC를 전력 소자로 결합하여 탁월한 효율을 달성했습니다.
- ● 고속 센서는 VI 및 FPGA 데이터를 빠르게 수집하고, 아크 응답 시간은 100ns 미만입니다.
- ● 다중 교차 PFC 기술을 채택하여 역률이 0.95 이상입니다.
- ● 다양한 아크 감지 방법 선택 가능, 아크 소멸 여부 식별의 신뢰성 높음
- ● 출력 모드는 다양하며, 연속 모드와 간헐 모드를 선택할 수 있습니다.
- ● 제어 방식 UI.W 선택 가능
입력
- 입력 전압 3AC400V, 50/60Hz
- 역률 ≥0.9
- 변환 효율 94%
산출
- 출력 전압 600V, 800V
- 출력 전류 50A~75A
- 출력 레벨 30kW, 20kW*2, 25kW*2, 30kW*2
- 입력 채널 2개
- 주파수 40kHz, 40~200kHz
성과 지표
- 출력 전류 리플 2% rms
- 조정 정확도 ±0.5%
- 아크 응답 시간
- 사이즈 4U
- 의사소통
아날로그 및 RS-485 통신을 지원합니다(Profibus, ProfiNet, EtherCAT은 선택 사항).
참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 성능이 향상됩니다. 본 제품 사양 설명은 참고용으로만 제공됩니다.
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MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치 - 데이터시트
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