MSD 시리즈
스퍼터링 전원 공급 장치

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 MSD의 첨단 핵심 DC 제어 시스템과 탁월한 아크 처리 기술이 완벽하게 통합된 제품입니다. 이러한 시너지 효과를 통해 탁월한 안정성, 높은 신뢰성, 최소한의 아크 손상, 그리고 뛰어난 공정 반복성을 제공합니다. 사용자 친화적인 중국어 및 영문 디스플레이 인터페이스를 탑재하여 손쉽게 조작할 수 있으며, 표준 3U 섀시에 장착되는 컴팩트한 구조로 공간 활용도를 극대화했습니다. 정밀한 제어 기능은 전반적인 성능을 더욱 향상시켜 다양한 응용 분야에서 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.

주요 특징

● 랙 설치
● 빠른 아크 응답, 응답 시간
● 하단 에너지 저장,

● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시
● 중국어/영어 표시 인터페이스, 조작이 간편함
● 정밀 제어

● 폭넓은 출력 범위
● 완벽한 보호 기능

주요 매개변수

입력

입력 전압: 3AC380V±10%
출력: 20kW, 30kW
입력 전력 주파수: 50Hz/60Hz

산출

최대 출력 전압: 800V
최대 출력 전류: 50A, 75A
출력 전류 리플: ≤3% rms
출력 전압 리플: ≤2% rms

기술지수

점화 전압: 1000V / 1200V (선택 사항)
변환 효율: 95%
아크 소멸 시간: 100ns 미만
통신 인터페이스: 표준 RS485/RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet 및 EtherCAT은 선택 사항입니다)
크기(높이*너비*두께)mm: 132*482*560, 176*482*700
냉각 방식: 공랭식

참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 성능이 향상됩니다. 본 제품 사양 설명은 참고용으로만 제공됩니다.

더 자세한 정보

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 최첨단 기술의 정점을 보여주는 혁신적인 솔루션입니다. MSD의 최신 DC 제어 시스템과 탁월한 아크 처리 메커니즘을 통합하여 성능과 신뢰성 면에서 새로운 기준을 제시합니다. 고급 제어 시스템과 혁신적인 아크 처리 기술의 완벽한 융합으로 탄생한 이 제품은 타의 추종을 불허하는 안정성을 보장하며, 신뢰성을 전례 없는 수준으로 끌어올립니다. 아크 손상을 최소화하고 공정 반복성을 극대화하여 매번 일관되고 정밀한 결과를 제공합니다. 사용자 친화적인 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스를 탑재하여 손쉽게 조작할 수 있습니다. 컴팩트한 설치 구조로 표준 3U 섀시에 장착 가능하여 공간 활용도를 최적화합니다. 정밀한 제어 기능은 전반적인 성능을 더욱 향상시켜 다양한 응용 분야에서 안정적이고 효율적인 선택이 될 것입니다.

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