MSD 시리즈
스퍼터링 전원 공급 장치

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 뛰어난 아크 처리 방식과 완벽하게 통합된 회사의 고급 코어 DC 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 시너지 효과로 인해 비교할 수 없는 안정성, 향상된 신뢰성, 최소 아크 손상 및 뛰어난 공정 반복성을 갖춘 제품이 탄생했습니다. 전원 공급 장치에는 사용자 친화적인 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스가 장착되어 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 콤팩트한 설치 구조는 표준 3U 섀시 내에 내장되어 공간 활용을 최적화합니다. 제어의 정밀도는 전반적인 성능을 더욱 향상시켜 다양한 응용 분야에서 안정적이고 효율적인 선택이 됩니다.

주요 특징들

● 랙 설치
● 빠른 아크 응답, 응답 시간
● 하단 에너지 저장 장치,

● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시
● 작동하기 쉬운 중국어/영어 디스플레이 인터페이스
● 정밀한 제어

● 폭넓은 출력 범위
● 완벽한 보호 기능

주요 매개변수

입력

입력 전압: 3AC380V±10%
전력: 20kW, 30kW
입력 전원 주파수: 50Hz/60Hz

산출

최대. 출력 전압: 800V
최대. 출력 전류: 50A、75A
출력 전류 리플: ≤3% rms
출력 전압 리플: ≤2% rms

기술 색인

점화 전압: 선택 1000V / 1200V
변환 효율: 95%
아크 오프 시간:
통신 인터페이스: 표준 RS485 / RS232(PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet 및 EtherCAT은 옵션)
치수(H*W*D)mm: 132*482*560,176*482*700
냉각 모드: 공기 냉각

참고: 제품은 계속해서 혁신하고 있으며 성능은 계속해서 개선되고 있습니다. 이 매개변수 설명은 참조용으로만 제공됩니다.

추가 정보

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 기술 발전의 정점을 보여주는 최첨단 솔루션입니다. 회사의 최첨단 코어 DC 제어 시스템과 뛰어난 아크 처리 메커니즘의 통합을 자랑하는 이 전원 공급 장치는 성능과 신뢰성에 있어 새로운 표준을 제시합니다. 고급 제어 시스템과 혁신적인 아크 처리 기술의 완벽한 융합을 통해 제작된 이 제품은 비교할 수 없는 안정성을 보장하여 신뢰성을 전례 없는 수준으로 높입니다. 아크 손상이 최소화되는 동시에 프로세스 반복성이 탁월한 수준에 도달하여 모든 사용에서 일관되고 정확한 결과를 보장합니다. 전원 공급 장치에는 사용자 친화적인 중국어 및 영어 디스플레이 인터페이스가 장착되어 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 콤팩트한 설치 구조는 표준 3U 섀시 내에 내장되어 공간 활용을 최적화합니다. 제어의 정밀도는 전반적인 성능을 더욱 향상시켜 다양한 응용 분야에서 안정적이고 효율적인 선택이 됩니다.

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