Dutch
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Turkish Italian Indonesian Polish Hindi Dutch Malay Persian Thai Vietnamese
65964efzot
Inquiry
Form loading...

MSB-serie
Middelfrequente sputtervoeding

De MSB-serie is gebaseerd op uitstekende golfvormmodulatietechnologie voor de uitvoer van DC, DC-puls, bidirectionele blokgolf, bidirectionele trapeziumgolf en andere golfvormen. Het product heeft een instelbare uitgangsgolfvorm, selecteerbare uitgangsfrequentie, instelbare duty cycle en nauwkeurige vermogensregeling. Daarnaast biedt het een lage energieopslag en een snelle boogrespons. Het biedt een handige en nauwkeurige controle over het coatingproces. De producten worden voornamelijk gebruikt in diverse dunnefilmproductieprocessen, de zonnecelindustrie en de vacuümcoatingindustrie; toepassingsprocessen: magnetronsputtering, twin-target sputtering en buisvormige PECVD.

01

Belangrijkste kenmerken

  • ● De combinatie van volledig zachte schakeltechnologie en halfgeleider-SiC van de derde generatie als vermogenscomponenten resulteert in een uitstekende efficiëntie
  • ● Hoge snelheidssensor verzamelt VI, FPGA snelle verwerking, boogresponstijd
  • ● Toepassing van meerdere kruisende PFC-technologieën, met een vermogensfactor groter dan 0,95
  • ● Selectie van meerdere methoden voor boogdetectie, hoge betrouwbaarheid van identificatie van boogblussing
  • ● De uitvoermodi zijn divers en er kan worden gekozen uit continue en intermitterende modi
  • ● Besturingsmethode UI.W selecteerbaar

De belangrijkste parameters

Invoer

  • Ingangsspanning 3AC400V,50/60Hz
  • Vermogensfactor ≥0,9
  • Conversie-efficiëntie 94%

Uitvoer

  • Uitgangsspanning 600V,800V
  • Uitgangsstroom 50A—75A
  • Vermogensniveau 30kW,20kW*2,25kW*2,30kW*2
  • Ingangskanalen 2 kanalen
  • Frequentie 40 kHz, 40 ~ 200 kHz

Prestatie-index

  • Rimpel van de uitgangsstroom 2% rms
  • Aanpassingsnauwkeurigheid ±0,5%
  • Arc-responstijd
  • Maat 4U
  • Mededeling
    Ondersteunt analoge en RS-485-communicatie (optioneel Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Let op: het product blijft innoveren en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving is slechts ter referentie.

Meer informatie

Download

  • MSB-serie middenfrequente sputtervoeding - Datasheet

    65975bapr0Download
Terug naar Power Solutions Center