Dutch
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Turkish Italian Indonesian Polish Hindi Dutch Malay Persian Thai Vietnamese
65964efzot
Inquiry
Form loading...

MSB-serie
Middelfrequente sputtervoeding

De MSB-serie maakt gebruik van uitstekende golfvormmodulatietechnologie om gelijkstroom, gelijkstroompulsen, bidirectionele blokgolven, bidirectionele trapeziumgolven en andere golfvormen te genereren. Het product heeft een instelbare uitgangsgolfvorm, selecteerbare uitgangsfrequentie, instelbare duty cycle en nauwkeurige vermogensregeling. Daarnaast biedt het een laag energieverbruik en een snelle boogrespons. Dit zorgt voor een gemakkelijke en nauwkeurige controle tijdens het coatingproces. De producten worden voornamelijk gebruikt in diverse dunnefilmproductieprocessen, de zonnecelindustrie en de vacuümcoatingindustrie; toepassingsprocessen: magnetron sputteren, twin target sputteren en tubulaire PECVD.

01

Belangrijkste kenmerken

  • ● De combinatie van volledig soft-switching-technologie en SiC-halfgeleiders van de derde generatie als vermogenscomponenten resulteert in een uitstekend rendement.
  • ● Snelle sensor verzamelt VI, snelle FPGA-verwerking, reactietijd boog
  • ● Toepassing van meerdere elkaar kruisende PFC-technologieën met een arbeidsfactor groter dan 0,95
  • ● Keuze uit meerdere methoden voor vlamboogdetectie, hoge betrouwbaarheid van de identificatie van vlamboogdoving
  • ● De uitvoermodi zijn divers en er kan gekozen worden tussen continue en intermitterende modi.
  • ● Bedieningsmethode UI.W selecteerbaar

De belangrijkste parameters

Invoer

  • Ingangsspanning 3V AC 400V, 50/60Hz
  • Vermogensfactor ≥0,9
  • Conversie-efficiëntie 94%

Uitvoer

  • Uitgangsspanning 600V, 800V
  • Uitgangsstroom 50A—75A
  • Vermogensniveau 30 kW, 20 kW*2, 25 kW*2, 30 kW*2
  • Ingangskanalen: 2 kanalen
  • Frequentie 40 kHz, 40~200 kHz

Prestatie-index

  • Rimpelspanning uitgang 2% rms
  • Nauwkeurigheid bij aanpassing ±0,5%
  • Arc-responstijd
  • Maat 4U
  • Mededeling
    Ondersteuning voor analoge en RS-485-communicatie (optioneel Profibus, ProfiNet, EtherCAT).

Let op: het product wordt continu vernieuwd en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving dient uitsluitend ter referentie.

Meer informatie

Download

  • MSB-serie middenfrequentie sputtervoeding - Datasheet

    65975bapr0Download
Terug naar het Power Solutions Center