Die HF-Stromversorgung der RHH-Serie basiert auf ausgereifter HF-Erzeugungstechnologie und bietet Kunden eine HF-Stromversorgung mit höherer Leistung, höherer Präzision und schnellem Ansprechverhalten. Sie verfügt über einstellbare Phase, steuerbare Pulse, digitales Tuning und weitere Funktionen. Einsatzbereiche: Photovoltaik, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labore, Forschung und Fertigung usw.
Geeignete Prozesse: plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisations-Sputtern, reaktives Sputtern usw.
● Adopt full digital control, with convenient and rich operation menu
● Frequency tuning, pulse and pulse synchronization functions
● With CEX phase synchronization function
● Perfect protection function
Input | Input voltage: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Special specifications can be customized) |
Input frequency: 47~63Hz | |
Output | Output frequency: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz |
Tuning range: ±5% | |
Output power: 1.5~5kW | |
Regulation range of output power: 1~100% | |
Output impedance: 50Ω+j0 | |
Output interface: type N | |
Output mode: continuous, pulse | |
Pulse frequency: 100Hz~100kHz | |
Duty cycle: 5~95% | |
Performance index | Power factor: 0.98 |
Frequency stability accuracy: ±0.005% | |
Efficiency: 75% (at rated output) | |
Harmonic: ＜-45dBc | |
Stray: ＜-50dBc | |
External control interface: analog quantity, communication and synchronization | |
Communication mode: Standard RS485 communication interface; Optional Ether CAT, industrial Ethernet, etc. |
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