Alimentation RF de la série RPJ

La série RPJ s'appuie sur une technologie de génération RF éprouvée pour fournir aux clients des alimentations RF de plus grande puissance, de précision supérieure et à réponse rapide. Elle dispose de fonctions telles que le réglage de phase et le contrôle des impulsions. Domaines d'application : industrie photovoltaïque, industrie des écrans plats, industrie des semi-conducteurs, industrie chimique, laboratoires, recherche scientifique, fabrication, etc. Procédés applicables : dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), gravure par plasma, nettoyage par plasma, source d'ions radiofréquence, diffusion par plasma, pulvérisation par polymérisation plasma, pulvérisation réactive, etc.

Caractéristiques
● Half-brick and rack mount options
● Fulldigital control, with convenient and rich operation menu
● Pulse and pulse synchronization functions
● Equipped with CEX phase synchronization function
● Improve protectionfunctions
Les paramètres principaux
Input
Input voltage3ΦAC208V ± 10%, 3ΦAC380V ± 5%, 47~63Hz
Output
Output frequency13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
Output power1.5kW~6kW
Output power regulation range1% ~ 100%
Output impedance50Ω +j0
Output interfaceN-type
Output modeContinuous, pulse
Pulse frequency100Hz~20kHz
Duty cycle5%~95%
Performance index
Power factor0.98
Frequency stabilization accuracy±0.005%
Efficiency75% (At rated output)
Harmonic<-45dBc
Spurious<-50dBc
Control features
External control interfaceAnalog, communication, synchronization
Communication modeStandard configured RS485 communication interface, Ethernet CAT, industrial Ethernet can be extended.


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