RHH серияле RF электр белән тәэмин итү җайланмасы өлгергән RF генерацияләү технологиясенә таяна, бу кулланучыларга зуррак куәт, югарырак төгәллек һәм тиз җавап бирү белән RF электр белән тәэмин итүне тәэмин итә. Фазаны көйләргә, импульсны контрольдә тотарга, санлы көйләү һәм башка функцияләр белән. Кулланыла торган өлкәләр: фотоэлектрик сәнәгать, яссы панельле дисплей сәнәгате, ярымүткәргеч сәнәгате, химия сәнәгате, лаборатория, фәнни тикшеренүләр, җитештерү һ.б.
Кулланыла торган процесслар: плазма белән көчәйтелгән химик пар белән эшкәртү (PECVD), плазманы эшкәртү, плазманы чистарту, радиоешлыклы ион чыганагы, плазма диффузиясе, плазма полимеризациясе белән сиптерү, реактив сиптерү һ.б.