Inquiry
Form loading...

PDB сериясе
RHH серияле RF электр белән тәэмин итү җайланмасы

RHH серияле RF электр белән тәэмин итү җайланмасы өлгергән RF генерацияләү технологиясенә таяна, бу кулланучыларга зуррак куәт, югарырак төгәллек һәм тиз җавап бирү белән RF электр белән тәэмин итүне тәэмин итә. Фазаны көйләргә, импульсны контрольдә тотарга, санлы көйләү һәм башка функцияләр белән. Кулланыла торган өлкәләр: фотоэлектрик сәнәгать, яссы панельле дисплей сәнәгате, ярымүткәргеч сәнәгате, химия сәнәгате, лаборатория, фәнни тикшеренүләр, җитештерү һ.б.
Кулланыла торган процесслар: плазма белән көчәйтелгән химик пар белән эшкәртү (PECVD), плазманы эшкәртү, плазманы чистарту, радиоешлыклы ион чыганагы, плазма диффузиясе, плазма полимеризациясе белән сиптерү, реактив сиптерү һ.б.

01

Төп үзенчәлекләр

  • ● Ярым кирпеч һәм стеллажга урнаштыру стильләре
  • ● Уңайлы һәм бай эш менюсы белән тулы санлы идарә итүне кулланыгыз
  • ● Ешлыкны көйләү, импульс һәм импульс синхронизациясе функцияләре
  • ● CEX фаза синхронизациясе функциясе белән
  • ● Камил саклау функциясе

Төп параметрлар

Модель спецификациясе:

Керү Керү көчәнеше: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Махсус спецификацияләрне көйләргә мөмкин)
Керү ешлыгы: 47~63Гц
Чыгару Чыгару ешлыгы: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
Көйләү диапазоны: ±5%
Чыгару куәте: 1,5~5 кВт
Чыгу куәтен көйләү диапазоны: 1~100%
Чыгу импедансы: 50Ω+j0
Чыгару интерфейсы: N тибында
Чыгару режимы: өзлексез, импульслы
Пульс ешлыгы: 100Гц ~ 100кГц
Эш циклы: 5~95%
Нәтиҗәлелек индексы Көч коэффициенты: 0.98
Ешлык тотрыклылыгы төгәллеге: ±0,005%
Нәтиҗәлелек: 75% (номиналь чыгаруда)
Гармоник:
Адаш:
Тышкы идарә итү интерфейсы: аналог күләм, элемтә һәм синхронлаштыру
Элемтә режимы: Стандарт RS485 элемтә интерфейсы; Өстәмә эфир CAT, сәнәгать Ethernet һ.б.
Искәрмә: продукт яңартуын дәвам итә һәм эшчәнлек яхшыра бара. Бу параметр тасвирламасы белешмә өчен генә.