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Série PDB
Fonte de alimentação RF da série RHH

A série RHH de fontes de alimentação de RF utiliza tecnologia de geração de RF consolidada para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação com maior potência, precisão e resposta rápida. Possui funções como ajuste de fase, controle de pulso e sintonia digital. Aplicações: indústria fotovoltaica, indústria de telas planas, indústria de semicondutores, indústria química, laboratórios, pesquisa científica, manufatura, etc.
Processos aplicáveis: deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD), gravação a plasma, limpeza a plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica por polimerização a plasma, pulverização catódica reativa, etc.

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Principais características

  • ● Estilos de montagem em meia-tijolo e em rack
  • ● Adota controle totalmente digital, com menu de operação conveniente e completo.
  • ● Funções de ajuste de frequência, pulso e sincronização de pulsos
  • ● Com função de sincronização de fase CEX
  • ● Função de proteção perfeita

Os principais parâmetros

Especificação do modelo:

Entrada Tensão de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Especificações especiais podem ser personalizadas)
Frequência de entrada: 47~63Hz
Saída Frequência de saída: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Faixa de ajuste: ±5%
Potência de saída: 1,5~5 kW
Faixa de regulação da potência de saída: 1~100%
Impedância de saída: 50Ω+j0
Interface de saída: tipo N
Modo de saída: contínuo, pulso
Frequência de pulso: 100Hz~100kHz
Ciclo de trabalho: 5~95%
Índice de desempenho Fator de potência: 0,98
Precisão da estabilidade de frequência: ±0,005%
Eficiência: 75% (na potência nominal)
Harmônico:
Ruído disperso:
Interface de controle externo: grandeza analógica, comunicação e sincronização.
Modo de comunicação: Interface de comunicação RS485 padrão; EtherCAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.