Russian
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Серия PDB
Источники питания радиочастотного диапазона серии RHH

Источники питания серии RHH для ВЧ-сигналов основаны на отработанных технологиях генерации ВЧ-сигналов и предоставляют клиентам источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом. Они обладают возможностью настройки фазы, управления импульсами, цифровой настройкой и другими функциями. Области применения: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских панелей, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лабораторные исследования, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, радиочастотный ионный источник, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.

01

Основные характеристики

  • ● Варианты установки: полукирпичный и в стойку
  • ● Полностью цифровое управление с удобным и богатым меню операций.
  • ● Функции настройки частоты, импульсов и синхронизации импульсов
  • ● С функцией фазовой синхронизации CEX
  • ● Превосходная функция защиты

Основные параметры

Технические характеристики модели:

Вход Входное напряжение: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Возможна индивидуальная настройка)
Входная частота: 47–63 Гц
Выход Выходная частота: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
Диапазон настройки: ±5%
Выходная мощность: 1,5~5 кВт
Диапазон регулировки выходной мощности: 1~100%
Выходное сопротивление: 50 Ом + j0
Выходной интерфейс: тип N
Режим вывода: непрерывный, импульсный
Частота импульсов: 100 Гц ~ 100 кГц
Рабочий цикл: 5–95%
индекс эффективности Коэффициент мощности: 0,98
Точность стабильности частоты: ±0,005%
КПД: 75% (при номинальной выходной мощности)
Гармонические колебания:
Отклонение:
Внешний интерфейс управления: аналоговая регулировка громкости, связь и синхронизация.
Режим связи: стандартный интерфейс RS485; опционально EtherCAT, промышленный Ethernet и т.д.
Примечание: продукт постоянно совершенствуется, и его характеристики постоянно улучшаются. Данное описание параметров приведено только для справки.