Inquiry
Form loading...

Серыя PDB
Блок харчавання радыёчастотных ліній серыі RHH

Радыячастотныя крыніцы сілкавання серыі RHH абапіраюцца на развітую тэхналогію генерацыі радыёчастотных выпраменьванняў, каб забяспечыць кліентам радыёчастотныя крыніцы сілкавання з большай магутнасцю, больш высокай дакладнасцю і хуткасцю водгуку. З магчымасцю ўсталёўкі фазы, імпульснага кіравання, лічбавай налады і іншымі функцыямі. Прымяняюцца ў наступных галінах: фотаэлектрычная прамысловасць, вытворчасць плоскіх дысплеяў, паўправадніковая прамысловасць, хімічная прамысловасць, лабараторыі, навуковыя даследаванні, вытворчасць і г.д.
Прыдатныя працэсы: плазменна-хімічнае асаджэнне з паравой фазы (PECVD), плазменнае травленне, плазменная ачыстка, радыёчастотная крыніца іонаў, плазменная дыфузія, плазменнае палімерызацыйнае распыленне, рэактыўнае распыленне і г.д.

01

Асноўныя характарыстыкі

  • ● Маштабныя корпусы ў паўцэглы і ў стойку
  • ● Прыняць цалкам лічбавае кіраванне з зручным і багатым меню кіравання
  • ● Функцыі налады частаты, імпульсу і сінхранізацыі імпульсаў
  • ● З функцыяй сінхранізацыі фаз CEX
  • ● Ідэальная функцыя абароны

Асноўныя параметры

Спецыфікацыя мадэлі:

Увод Уваходнае напружанне: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (спецыяльныя характарыстыкі могуць быць настроены)
Уваходная частата: 47~63 Гц
Выхад Выхадная частата: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
Дыяпазон налады: ±5%
Выхадная магутнасць: 1,5~5 кВт
Дыяпазон рэгулявання выходнай магутнасці: 1~100%
Выхадны імпеданс: 50Ω+j0
Выхадны інтэрфейс: тып N
Рэжым вываду: бесперапынны, імпульсны
Частата імпульсаў: 100 Гц ~ 100 кГц
Каэфіцыент нагрузкі: 5~95%
Індэкс прадукцыйнасці Каэфіцыент магутнасці: 0,98
Дакладнасць стабільнасці частаты: ±0,005%
ККД: 75% (пры намінальнай магутнасці)
Гармоніка:
Разсеяныя шумы:
Знешні інтэрфейс кіравання: аналагавая велічыня, сувязь і сінхранізацыя
Рэжым сувязі: стандартны інтэрфейс сувязі RS485; дадатковы Ether CAT, прамысловы Ethernet і г.д.
Заўвага: прадукт працягвае ўдасканальвацца, а яго прадукцыйнасць працягвае паляпшацца. Гэта апісанне параметраў прыведзена толькі для даведкі.