Inquiry
Form loading...

Řada PDB
Napájecí zdroj řady RHH

RF napájecí zdroje řady RHH využívají vyspělou technologii generování RF signálu, která zákazníkům poskytuje RF napájení s vyšším výkonem, vyšší přesností a rychlou odezvou. S možností nastavení fáze, pulzního řízení, digitálního ladění a dalších funkcí. Použitelné oblasti: fotovoltaický průmysl, průmysl plochých displejů, polovodičový průmysl, chemický průmysl, laboratoře, vědecký výzkum, výroba atd.
Použitelné procesy: plazmově vylepšená chemická depozice z plynné fáze (PECVD), plazmové leptání, plazmové čištění, radiofrekvenční iontový zdroj, plazmová difúze, plazmové polymerační naprašování, reaktivní naprašování atd.

01

Klíčové vlastnosti

  • ● Provedení pro montáž do racku a do polovičního pouzdra
  • ● Přijměte plně digitální ovládání s pohodlným a bohatým ovládacím menu
  • ● Funkce ladění frekvence, pulzů a synchronizace pulzů
  • ● S funkcí fázové synchronizace CEX
  • ● Perfektní ochranná funkce

Hlavní parametry

Specifikace modelu:

Vstup Vstupní napětí: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (lze upravit dle zvláštních specifikací)
Vstupní frekvence: 47~63Hz
Výstup Výstupní frekvence: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Rozsah ladění: ±5%
Výstupní výkon: 1,5~5 kW
Rozsah regulace výstupního výkonu: 1~100%
Výstupní impedance: 50Ω+j0
Výstupní rozhraní: typ N
Výstupní režim: kontinuální, pulzní
Pulzní frekvence: 100 Hz ~ 100 kHz
Pracovní cyklus: 5~95%
Index výkonnosti Účiník: 0,98
Přesnost frekvenční stability: ±0,005 %
Účinnost: 75 % (při jmenovitém výkonu)
Harmonické:
Rozptýlené:
Externí řídicí rozhraní: analogová veličina, komunikace a synchronizace
Komunikační režim: Standardní komunikační rozhraní RS485; Volitelné Ether CAT, průmyslový Ethernet atd.
Poznámka: Produkt se neustále vyvíjí a jeho výkon se neustále zlepšuje. Popis tohoto parametru slouží pouze pro informaci.