Seri PDB
Catu Daya RF Seri RHH

Catu daya RF seri RHH mengandalkan teknologi pembangkitan RF yang matang untuk menyediakan catu daya RF dengan daya lebih besar, presisi lebih tinggi, dan respons cepat kepada pelanggan. Dilengkapi dengan pengaturan fase, kontrol pulsa, penyetelan digital, dan fungsi lainnya. Bidang aplikasi: industri fotovoltaik, industri layar panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, penelitian ilmiah, manufaktur, dll.
Proses yang dapat diaplikasikan: pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD), etsa plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, difusi plasma, sputtering polimerisasi plasma, sputtering reaktif, dll.

Fitur utama

● Model setengah bata dan pemasangan rak
● Meng采用 kontrol digital sepenuhnya, dengan menu pengoperasian yang nyaman dan lengkap

● Fungsi penyetelan frekuensi, pulsa, dan sinkronisasi pulsa
● Dengan fungsi sinkronisasi fase CEX

● Fungsi perlindungan yang sempurna

Parameter utama

Spesifikasi model:

Masukan	Tegangan input: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Spesifikasi khusus dapat disesuaikan)
Masukan	Frekuensi input: 47~63Hz
Keluaran	Frekuensi keluaran: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Rentang penyetelan: ±5%
	Daya keluaran: 1,5~5kW
	Rentang pengaturan daya keluaran: 1~100%
	Impedansi keluaran: 50Ω+j0
	Antarmuka keluaran: tipe N
	Mode keluaran: kontinu, pulsa
	Frekuensi pulsa: 100Hz~100kHz
	Siklus kerja: 5~95%
Indeks kinerja	Faktor daya: 0,98
	Akurasi stabilitas frekuensi: ±0,005%
	Efisiensi: 75% (pada daya keluaran nominal)
	Harmonik: ＜-45dBc
	Stray: ＜-50dBc
	Antarmuka kontrol eksternal: kuantitas analog, komunikasi, dan sinkronisasi
	Mode komunikasi: Antarmuka komunikasi RS485 standar; Opsional Ether CAT, Ethernet industri, dll.
Catatan: produk terus berinovasi dan kinerjanya terus meningkat. Deskripsi parameter ini hanya untuk referensi.

Seri PDBCatu Daya RF Seri RHH

Fitur utama

Parameter utama

Spesifikasi model:

Seri PDB
Catu Daya RF Seri RHH