Daya RF

Catu daya RF seri RHH mengandalkan teknologi pembangkitan RF yang matang untuk menyediakan catu daya RF dengan daya lebih besar, presisi lebih tinggi, dan respons cepat kepada pelanggan. Dilengkapi dengan pengaturan fase, kontrol pulsa, penyetelan digital, dan fungsi lainnya. Bidang aplikasi: industri fotovoltaik, industri layar panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, penelitian ilmiah, manufaktur, dll.
Proses yang dapat diaplikasikan: pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD), etsa plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, difusi plasma, sputtering polimerisasi plasma, sputtering reaktif, dll.