RF snaga

RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružilo RF napajanje s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. S mogućnošću podešavanja faze, upravljanjem impulsima, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, ​​industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.