RF moč

RF napajalniki serije RHH temeljijo na zreli tehnologiji generacije RF, ki strankam zagotavljajo RF napajanje z večjo močjo, večjo natančnostjo in hitrim odzivom. Z možnostjo nastavitve faze, impulznega krmiljenja, digitalnega uglaševanja in drugimi funkcijami. Uporabna področja: fotovoltaična industrija, industrija ploskih zaslonov, polprevodniška industrija, kemična industrija, laboratoriji, znanstvene raziskave, proizvodnja itd.
Uporabni postopki: plazemsko izboljšano kemično nanašanje s paro (PECVD), plazemsko jedkanje, plazemsko čiščenje, radiofrekvenčni ionski vir, plazemska difuzija, plazemsko polimerizacijsko razprševanje, reaktivno razprševanje itd.