RF/razpršilno napajanje

RF napajalniki serije RHH temeljijo na zreli tehnologiji generacije RF, ki strankam zagotavljajo RF napajanje z večjo močjo, večjo natančnostjo in hitrim odzivom. Z možnostjo nastavitve faze, impulznega krmiljenja, digitalnega uglaševanja in drugimi funkcijami. Uporabna področja: fotovoltaična industrija, industrija ploskih zaslonov, polprevodniška industrija, kemična industrija, laboratoriji, znanstvene raziskave, proizvodnja itd.
Uporabni postopki: plazemsko izboljšano kemično nanašanje s paro (PECVD), plazemsko jedkanje, plazemsko čiščenje, radiofrekvenčni ionski vir, plazemska difuzija, plazemsko polimerizacijsko razprševanje, reaktivno razprševanje itd.

RF napajalnik serije RLS uporablja trenutno stabilen in zanesljiv ojačevalnik moči ter osnovni sistem krmiljenja enosmernega toka, tako da ima izdelek zelo stabilno delovanje in visoko zanesljivost. Uporablja kitajski in angleški vmesnik za prikaz, enostaven za uporabo. Uporablja se predvsem v fotovoltaični industriji, industriji ploskih zaslonov, polprevodniški industriji, kemični industriji, laboratorijih, znanstvenih raziskavah, proizvodnji itd.

Prilagodi se lahko za RF napajalnike serije RLS in se pogosto uporablja pri plazemskem jedkanju, nanašanju premazov, plazemskem čiščenju, plazemskem odstranjevanju gumija in drugih postopkih. Če se uporablja samostojno, se lahko uporablja skupaj z RF napajalniki drugih proizvajalcev.

Napajalnik za enosmerni brizgalni tok serije MSD uporablja osnovni sistem krmiljenja enosmernega toka podjetja v kombinaciji z odlično shemo obdelave obloka, tako da ima izdelek zelo stabilno delovanje, visoko zanesljivost izdelka, majhne poškodbe obloka in dobro ponovljivost procesa. Uporablja kitajski in angleški vmesnik za enostavno upravljanje.