Alimentazione RF/Sputtering

L'alimentazione RF di a serie RHH si basa nantu à una tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti un'alimentazione RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida. Cù a pussibilità di impostà a fase, u cuntrollu di l'impulsi, a sintonizazione digitale è altre funzioni. Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di i display à pannellu pianu, industria di i semiconduttori, industria chimica, laburatoriu, ricerca scientifica, fabricazione, ecc.
Prucessi applicabili: deposizione chimica da vapore rinfurzata da plasma (PECVD), incisione a plasma, pulizia a plasma, fonte di ioni a radiofrequenza, diffusione a plasma, sputtering a polimerizzazione a plasma, sputtering reattivu, ecc.

L'alimentatore RF di a serie RLS adotta l'amplificatore di putenza stabile è affidabile attuale è u sistema di cuntrollu DC principale di a cumpagnia, affinchì u pruduttu abbia prestazioni assai stabili è alta affidabilità di u pruduttu. Adotta un'interfaccia di visualizazione cinese è inglese, faciule da aduprà. Principalmente adupratu in l'industria fotovoltaica, l'industria di i display à pannellu pianu, l'industria di i semiconduttori, l'industria chimica, u laburatoriu, a ricerca scientifica, a fabricazione, ecc.

Pò esse adattatu à l'alimentazione RF di a serie RLS, è hè largamente utilizatu in l'incisione à plasma, u rivestimentu, a pulizia à plasma, a sgommatura à plasma è altri prucessi. Quandu hè utilizatu solu, pò esse utilizatu inseme cù l'alimentatori RF di altri pruduttori.

L'alimentatore di sputtering DC di a serie MSD adotta u sistema di cuntrollu DC principale di a cumpagnia cumminatu cù un eccellente schema di trasfurmazione di l'arcu, in modu chì u pruduttu abbia prestazioni assai stabili, alta affidabilità di u produttu, picculi danni à l'arcu è bona ripetibilità di u prucessu. Adotta l'interfaccia di visualizazione cinese è inglese, faciule da aduprà.