RF/Püskürtme Güç Kaynağı

RHH serisi RF güç kaynağı, olgun RF üretim teknolojisine dayanarak müşterilerine daha yüksek güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı tepki süresine sahip RF güç kaynağı sunar. Faz ayarı, darbe kontrolü, dijital ayarlama ve diğer fonksiyonlara sahiptir. Uygulama alanları: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.
Uygulanabilir işlemler: plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekanslı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme, vb.

RLS serisi RF güç kaynağı, akım kararlı ve güvenilir güç amplifikatörü ve şirketin temel DC kontrol sistemini kullanır; bu sayede ürün çok istikrarlı performans ve yüksek ürün güvenilirliğine sahiptir. Çince ve İngilizce ekran arayüzü sayesinde kullanımı kolaydır. Başlıca fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb. alanlarda kullanılır.

RLS serisi RF güç kaynağına uyarlanabilir ve plazma aşındırma, kaplama, plazma temizleme, plazma yapışkan giderme ve diğer işlemlerde yaygın olarak kullanılır. Tek başına kullanıldığında, diğer üreticilerin RF güç kaynaklarıyla birlikte kullanılabilir.

MSD serisi DC püskürtme güç kaynağı, şirketin temel DC kontrol sistemi ile mükemmel ark işleme şemasını birleştirerek, ürünün çok istikrarlı performans, yüksek ürün güvenilirliği, düşük ark hasarı ve iyi işlem tekrarlanabilirliği sağlamasını mümkün kılar. Çince ve İngilizce ekran arayüzü sayesinde kullanımı kolaydır.