RF/porlasztásos tápegység

Az RHH sorozatú RF tápegység kiforrott RF generációs technológiára támaszkodik, hogy nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyorsabb válaszidejű RF tápegységet biztosítson az ügyfeleknek. Fázisbeállítással, impulzusvezérléssel, digitális hangolással és egyéb funkciókkal rendelkezik. Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, síkképernyős kijelzők ipar, félvezető ipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.

Az RLS sorozatú RF tápegység a jelenlegi stabil és megbízható teljesítményerősítőt és a vállalat alapvető DC vezérlőrendszerét alkalmazza, így a termék nagyon stabil teljesítményt és magas termékmegbízhatóságot biztosít. Kínai és angol nyelvű kijelzőfelülettel rendelkezik, könnyen kezelhető. Főként fotovoltaikus iparban, síkképernyős kijelzők iparában, félvezető iparban, vegyiparban, laboratóriumokban, tudományos kutatásban, gyártásban stb. használják.

RLS sorozatú RF tápegységekhez illeszthető, és széles körben használják plazmamaratásban, bevonatolásban, plazmatisztításban, plazmanyálkásodás eltávolításában és egyéb folyamatokban. Önmagában használva más gyártók RF tápegységeivel együtt is használható.

Az MSD sorozatú DC porlasztásos tápegység a vállalat alapvető DC vezérlőrendszerét alkalmazza, kiváló ívfeldolgozási sémával kombinálva, így a termék nagyon stabil teljesítményt, magas termékmegbízhatóságot, kis ívkárosodást és jó folyamatismételhetőséget biztosít. Kínai és angol kijelzőfelülettel rendelkezik, könnyen kezelhető.