RF/스퍼터링 전원 공급 장치

RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 검증된 RF 생성 기술을 기반으로 고객에게 더욱 강력한 출력, 높은 정밀도 및 빠른 응답 속도를 제공합니다. 위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 등의 기능을 갖추고 있습니다. 적용 분야: 태양광 산업, 평면 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등
적용 가능한 공정: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 클리닝, 고주파 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등

RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치는 전류 안정적이고 신뢰할 수 있는 전력 증폭기와 당사 고유의 DC 제어 시스템을 채택하여 매우 안정적인 성능과 높은 제품 신뢰성을 제공합니다. 중국어 및 영문 표시 인터페이스를 채택하여 조작이 간편합니다. 주로 태양광 산업, 평면 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등에 사용됩니다.

이 제품은 RLS 시리즈 RF 전원 공급 장치와 호환되며 플라즈마 에칭, 코팅, 플라즈마 세척, 플라즈마 탈검 등 다양한 공정에 널리 사용됩니다. 단독으로 사용할 경우, 다른 제조업체의 RF 전원 공급 장치와 함께 사용할 수도 있습니다.

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 MSD 고유의 DC 제어 시스템과 우수한 아크 처리 방식을 결합하여 매우 안정적인 성능, 높은 제품 신뢰성, 적은 아크 손상 및 우수한 공정 반복성을 제공합니다. 중국어 및 영문 디스플레이 인터페이스를 채택하여 조작이 간편합니다.