MSD 시리즈
MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치

MSD 시리즈 DC 스퍼터링 전원 공급 장치는 MSD 고유의 DC 제어 시스템과 우수한 아크 처리 방식을 결합하여 매우 안정적인 성능, 높은 제품 신뢰성, 적은 아크 손상 및 우수한 공정 반복성을 제공합니다. 중국어 및 영문 디스플레이 인터페이스를 채택하여 조작이 간편합니다.

주요 특징

● 랙 설치
● 빠른 아크 응답, 응답 시간
● 하단 에너지 저장,
● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시

● 컴팩트한 설치 구조, 3U 표준 섀시
● 중국어/영어 표시 인터페이스, 조작이 간편함
● 정밀 제어

● 폭넓은 출력 범위
● 완벽한 보호 기능

주요 매개변수

입력	입력 전압: 3AC380V±10%
입력	출력: 20kW, 30kW 입력 전력 주파수: 50Hz/60Hz
산출	최대 출력 전압: 800V
	최대 출력 전류: 50A, 75A
	출력 전류 리플: ≤3% rms
	출력 전압 리플: ≤2% rms
기술지수	점화 전압: 1000V / 1200V (선택 사항)
	변환 효율: 95%
	아크 소멸 시간: 100ns 미만
	통신 인터페이스: 표준 RS485/RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet 및 EtherCAT은 선택 사항입니다)
	크기(높이너비두께)mm: 132482560: 176482700
	냉각 방식: 공랭식
참고: 제품은 지속적으로 혁신되고 성능이 향상됩니다. 본 제품 사양 설명은 참고용으로만 제공됩니다.

MSD 시리즈MSD 시리즈 스퍼터링 전원 공급 장치

주요 특징

주요 매개변수

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