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Serie MSD
Alimentatore per sputtering serie MSD

L'alimentatore a sputtering CC della serie MSD adotta il sistema di controllo CC di base dell'azienda, combinato con un eccellente schema di elaborazione dell'arco, garantendo al prodotto prestazioni molto stabili, elevata affidabilità, danni da arco ridotti e buona ripetibilità del processo. Adotta un'interfaccia di visualizzazione in cinese e inglese, facile da usare.

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Caratteristiche principali

  • ● Installazione del rack
  • ● Risposta rapida dell'arco, tempo di risposta
  • ● Accumulo di energia inferiore,
  • ● Struttura di installazione compatta, chassis standard 3U
  • ● Struttura di installazione compatta, chassis standard 3U
  • ● Interfaccia di visualizzazione cinese/inglese, facile da usare
  • ● Controllo preciso
  • ● Ampia gamma di output
  • ● Funzione di protezione perfetta

I parametri principali

Ingresso Tensione di ingresso: 3AC380V±10%
Potenza: 20 kW, 30 kW

Frequenza di alimentazione in ingresso: 50Hz/60Hz
Produzione Tensione di uscita massima: 800 V
Corrente di uscita massima: 50A、75A
Ondulazione della corrente di uscita: ≤3% rms
Ondulazione della tensione di uscita: ≤2% rms
Indice tecnico Tensione di accensione: 1000V / 1200V opzionale
Efficienza di conversione: 95%
Tempo di spegnimento dell'arco: ＜100 ns
Interfaccia di comunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet ed EtherCAT sono opzionali)
Dimensioni (A*L*P) mm: 132*482*560: 176*482*700
Modalità di raffreddamento: raffreddamento ad aria
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.