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MSD-Serie
MSD-Serie Sputter-Netzteil

Das DC-Sputternetzteil der MSD-Serie nutzt das firmeneigene DC-Steuerungssystem in Kombination mit einem optimierten Lichtbogenverarbeitungsverfahren. Dadurch zeichnet sich das Produkt durch hohe Stabilität, Zuverlässigkeit, geringe Lichtbogenschäden und gute Prozesswiederholbarkeit aus. Die Bedienung ist dank der chinesischen und englischen Displayschnittstelle einfach.

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Hauptmerkmale

  • ● Rack-Installation
  • ● Schnelle Lichtbogenreaktion, Reaktionszeit
  • ● Energiespeicherung am Boden,
  • ● Kompakte Installationsstruktur, 3U-Standardgehäuse
  • ● Kompakte Installationsstruktur, 3U-Standardgehäuse
  • ● Chinesische/englische Benutzeroberfläche, einfache Bedienung
  • ● Präzise Steuerung
  • ● Breites Leistungsspektrum
  • ● Perfekte Schutzfunktion

Die wichtigsten Parameter

Eingang Eingangsspannung: 3AC380V±10%
Leistung: 20 kW, 30 kW

Eingangsfrequenz: 50 Hz/60 Hz
Ausgabe Maximale Ausgangsspannung: 800 V
Maximaler Ausgangsstrom: 50 A, 75 A
Restwelligkeit des Ausgangsstroms: ≤3% eff.
Restwelligkeit der Ausgangsspannung: ≤2% eff.
Technischer Index Zündspannung: 1000 V / 1200 V (optional)
Umwandlungseffizienz: 95 %
Lichtbogenabschaltzeit:
Kommunikationsschnittstelle: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet und EtherCAT sind optional)
Abmessungen (H*B*T) mm: 132*482*560: 176*482*700
Kühlmodus: Luftkühlung
Hinweis: Das Produkt wird kontinuierlich weiterentwickelt und seine Leistung verbessert sich stetig. Diese Parameterbeschreibung dient lediglich als Referenz.