HF-/Sputter-Netzteil

Die HF-Netzteile der RHH-Serie basieren auf ausgereifter HF-Technologie und bieten Kunden höhere Leistung, Präzision und schnelle Reaktionszeiten. Sie verfügen über Phaseneinstellung, Pulssteuerung, digitale Abstimmung und weitere Funktionen. Anwendungsbereiche: Photovoltaik, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labore, Forschung, Fertigung usw.
Anwendbare Verfahren: plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.

Das HF-Netzteil der RLS-Serie verwendet einen stromstabilen und zuverlässigen Leistungsverstärker sowie das firmeneigene DC-Regelungssystem. Dadurch zeichnet es sich durch hohe Stabilität und Zuverlässigkeit aus. Die Bedienung ist dank der chinesischen und englischen Benutzeroberfläche einfach. Hauptanwendungsgebiete sind die Photovoltaik-, Flachbildschirm-, Halbleiter- und Chemieindustrie sowie Labore, Forschung und Fertigung.

Es ist mit HF-Netzteilen der RLS-Serie kompatibel und findet breite Anwendung beim Plasmaätzen, Beschichten, Reinigen, Entschleimen und anderen Plasmaverfahren. Auch die Verwendung mit HF-Netzteilen anderer Hersteller ist möglich.

Das DC-Sputternetzteil der MSD-Serie nutzt das firmeneigene DC-Steuerungssystem in Kombination mit einem optimierten Lichtbogenverarbeitungsverfahren. Dadurch zeichnet sich das Produkt durch hohe Stabilität, Zuverlässigkeit, geringe Lichtbogenschäden und gute Prozesswiederholbarkeit aus. Die Bedienung ist dank der chinesischen und englischen Displayschnittstelle einfach.