RF/разпрашително захранване

Серията RHH RF захранвания разчита на усъвършенствана технология за генериране на RF, за да осигури на клиентите RF захранване с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция. С фазово настройване, импулсно управление, цифрова настройка и други функции. Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа промишленост, лаборатории, научни изследвания, производство и др.
Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане от пари (PECVD), плазмено ецване, плазмено почистване, радиочестотен йонен източник, плазмена дифузия, плазмено полимеризационно разпрашване, реактивно разпрашване и др.

Серията RF захранвания RLS използва стабилен и надежден усилвател на мощност и основната DC система за управление на компанията, така че продуктът има много стабилна производителност и висока надеждност. Използва китайски и английски интерфейс за дисплей, лесен за работа. Използва се главно във фотоволтаичната индустрия, индустрията за плоски дисплеи, полупроводниковата индустрия, химическата промишленост, лабораториите, научните изследвания, производството и др.

Може да се адаптира към RF захранвания от серията RLS и се използва широко в плазмено ецване, покритие, плазмено почистване, плазмено обезмасляване и други процеси. Когато се използва самостоятелно, може да се използва заедно с RF захранвания на други производители.

Захранването за DC разпрашване от серията MSD използва основната система за управление на DC на компанията, комбинирана с отлична схема за обработка на дъгата, така че продуктът има много стабилна производителност, висока надеждност, малки повреди от дъгата и добра повторяемост на процеса. Използва китайски и английски интерфейс на дисплея, лесен за работа.