RF/raspršivanje Napajanje

RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružilo RF napajanje s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. S mogućnošću podešavanja faze, upravljanjem impulsima, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, ​​industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

RF napajanje serije RLS koristi trenutno stabilno i pouzdano pojačalo snage i glavni DC upravljački sustav tvrtke, tako da proizvod ima vrlo stabilne performanse i visoku pouzdanost. Koristi kinesko i englesko sučelje zaslona, ​​jednostavno za rukovanje. Uglavnom se koristi u fotonaponskoj industriji, industriji ravnih zaslona, ​​industriji poluvodiča, kemijskoj industriji, laboratorijima, znanstvenim istraživanjima, proizvodnji itd.

Može se prilagoditi RF napajanju serije RLS i široko se koristi u plazma jetkanju, premazivanju, čišćenju plazmom, plazma degumiranju i drugim procesima. Kada se koristi samostalno, može se koristiti zajedno s RF napajanjima drugih proizvođača.

MSD serija DC napajanja za raspršivanje koristi temeljni DC upravljački sustav tvrtke u kombinaciji s izvrsnom shemom obrade luka, tako da proizvod ima vrlo stabilne performanse, visoku pouzdanost proizvoda, mala oštećenja luka i dobru ponovljivost procesa. Koristi kinesko i englesko sučelje zaslona, ​​jednostavno za korištenje.