RF/Цахилгаан цацалтын цахилгаан хангамж

RHH цувралын RF цахилгаан хангамж нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл бүхий RF цахилгаан хангамжийг хангахын тулд дэвшилтэт RF үүсгэх технологид суурилдаг. Фазыг тохируулах, импульсийг хянах, дижитал тохируулга хийх болон бусад функцуудтай. Холбогдох салбарууд: фотоэлектрик үйлдвэрлэл, хавтгай самбарын дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэрлэл, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.
Холбогдох үйл явц: плазмын сайжруулсан химийн ууршилт (PECVD), плазмын сийлбэр, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын диффуз, плазмын полимержилтийн цацалт, реактив цацалт гэх мэт.

RLS цувралын RF цахилгаан хангамж нь одоогийн тогтвортой, найдвартай цахилгаан өсгөгч болон компанийн гол DC хяналтын системийг ашигладаг тул бүтээгдэхүүн нь маш тогтвортой гүйцэтгэлтэй, өндөр найдвартай байдаг. Хятад, Англи дэлгэцийн интерфэйсийг ашигладаг, ажиллуулахад хялбар. Голчлон фотоэлектрик үйлдвэрлэл, хавтгай самбарын дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэрлэл, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт салбарт ашиглагддаг.

Үүнийг RLS цувралын RF цахилгаан хангамжид тохируулан ашиглаж болох бөгөөд плазмын сийлбэр, бүрэх, плазмын цэвэрлэгээ, плазмын гуужуулагч болон бусад процесст өргөн хэрэглэгддэг. Дангаар нь ашиглахад бусад үйлдвэрлэгчдийн RF цахилгаан хангамжтай хамт ашиглаж болно.

MSD цувралын DC цацалтын цахилгаан хангамж нь компанийн үндсэн DC хяналтын системийг маш сайн нуман боловсруулалтын схемтэй хослуулсан тул бүтээгдэхүүн нь маш тогтвортой гүйцэтгэлтэй, бүтээгдэхүүний өндөр найдвартай байдалтай, бага зэргийн нуман гэмтэлтэй, сайн давтагдах чадвартай. Хятад, Англи хэлний дэлгэцийн интерфэйсийг ашигладаг, ажиллуулахад хялбар.