RF-ийн хүч

RHH цувралын RF цахилгаан хангамж нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл бүхий RF цахилгаан хангамжийг хангахын тулд дэвшилтэт RF үүсгэх технологид суурилдаг. Фазыг тохируулах, импульсийг хянах, дижитал тохируулга хийх болон бусад функцуудтай. Холбогдох салбарууд: фотоэлектрик үйлдвэрлэл, хавтгай самбарын дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэрлэл, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.
Холбогдох үйл явц: плазмын сайжруулсан химийн ууршилт (PECVD), плазмын сийлбэр, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын диффуз, плазмын полимержилтийн цацалт, реактив цацалт гэх мэт.