Rádiový výkon

RF napájacie zdroje série RHH sa spoliehajú na vyspelé technológie generovania RF, aby zákazníkom poskytli RF napájanie s vyšším výkonom, vyššou presnosťou a rýchlou odozvou. S možnosťou nastavenia fázy, ovládania impulzov, digitálneho ladenia a ďalších funkcií. Použiteľné oblasti: fotovoltaický priemysel, priemysel plochých displejov, polovodičový priemysel, chemický priemysel, laboratóriá, vedecký výskum, výroba atď.
Použiteľné procesy: plazmovo vylepšená chemická depozícia z pár (PECVD), plazmové leptanie, plazmové čistenie, rádiofrekvenčný iónový zdroj, plazmová difúzia, plazmové polymerizačné naprašovanie, reaktívne naprašovanie atď.