РФ қуаты

RHH сериялы РФ қуат көзі тұтынушыларға жоғары қуат, жоғары дәлдік және жылдам жауап беру арқылы РФ қуат көзін қамтамасыз ету үшін жетілген РФ генерациялау технологиясына негізделген. Фазаны орнатуға, импульсті басқаруға, сандық реттеуге және басқа да функцияларға ие. Қолданылатын салалар: фотоэлектрлік өнеркәсіб, жалпақ панельді дисплей өнеркәсібі, жартылай өткізгіш өнеркәсібі, химия өнеркәсібі, зертхана, ғылыми зерттеулер, өндіріс және т.б.
Қолданылатын процестер: плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD), плазмалық өңдеу, плазмалық тазалау, радиожиілікті ион көзі, плазмалық диффузия, плазмалық полимерлеуді тозаңдату, реактивті тозаңдату және т.б.