Ισχύς RF

Το τροφοδοτικό RF της σειράς RHH βασίζεται σε ώριμη τεχνολογία παραγωγής RF για να παρέχει στους πελάτες τροφοδοτικό RF με μεγαλύτερη ισχύ, υψηλότερη ακρίβεια και γρήγορη απόκριση. Με δυνατότητα ρύθμισης φάσης, έλεγχο παλμών, ψηφιακό συντονισμό και άλλες λειτουργίες. Εφαρμοστέοι τομείς: φωτοβολταϊκή βιομηχανία, βιομηχανία επίπεδων οθονών, βιομηχανία ημιαγωγών, χημική βιομηχανία, εργαστήριο, επιστημονική έρευνα, κατασκευή κ.λπ.
Εφαρμοστέες διεργασίες: εναπόθεση χημικών ατμών με ενίσχυση πλάσματος (PECVD), χάραξη πλάσματος, καθαρισμός πλάσματος, πηγή ιόντων ραδιοσυχνοτήτων, διάχυση πλάσματος, ψεκασμός πολυμερισμού πλάσματος, αντιδραστικός ψεκασμός κ.λπ.