RF-kraft

RHH-seriens RF-strömförsörjning använder mogen RF-genereringsteknik för att förse kunder med RF-strömförsörjning med högre effekt, högre precision och snabb respons. Funktioner som kan ställas in på fas, pulsstyrning, digital inställning och andra funktioner. Tillämpliga områden: solcellsindustrin, plattskärmsindustrin, halvledarindustrin, kemisk industri, laboratorier, vetenskaplig forskning, tillverkning etc.
Tillämpliga processer: plasmaförstärkt kemisk ångdeponering (PECVD), plasmaetsning, plasmarengöring, radiofrekvensjonkälla, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtring, reaktiv sputtring, etc.