RF Gücü

RHH serisi RF güç kaynağı, olgun RF üretim teknolojisine dayanarak müşterilerine daha yüksek güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı tepki süresine sahip RF güç kaynağı sunar. Faz ayarı, darbe kontrolü, dijital ayarlama ve diğer fonksiyonlara sahiptir. Uygulama alanları: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.
Uygulanabilir işlemler: plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekanslı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme, vb.