RF-afl

RHH serían af RF aflgjafar byggir á þroskaðri RF framleiðslutækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri afli, meiri nákvæmni og hraðari svörun. Hægt er að stilla fasa, stjórna púls, stafrænni stillingu og öðrum aðgerðum. Notkunarsvið: sólarorkuiðnaður, flatskjáiðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofur, vísindarannsóknir, framleiðsla o.s.frv.
Viðeigandi ferli: plasma-aukið efnafræðileg gufuútfelling (PECVD), plasmaetsun, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasmafjölliðunarspúttrun, hvarfgjörn spúttrun o.s.frv.