Putere RF

Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe o tehnologie matură de generare RF pentru a oferi clienților o sursă de alimentare RF cu putere mai mare, precizie sporită și răspuns rapid. Cu funcție de setare a fazei, control prin impulsuri, reglare digitală și alte funcții. Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria afișajelor cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
Procese aplicabile: depunere chimică în fază de vapori asistată de plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare cu polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.