ВЧ-мощность

Источники питания серии RHH для ВЧ-сигналов основаны на отработанных технологиях генерации ВЧ-сигналов и предоставляют клиентам источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом. Они обладают возможностью настройки фазы, управления импульсами, цифровой настройкой и другими функциями. Области применения: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских панелей, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лабораторные исследования, научные исследования, производство и т. д.
Применимые процессы: плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы (PECVD), плазменное травление, плазменная очистка, радиочастотный ионный источник, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.