RF-Potenco

La RF-nutrado de la serio RHH dependas de maturaj RF-generaciaj teknologioj por provizi al klientoj RF-nutradon kun pli granda potenco, pli alta precizeco kaj rapida respondo. Ĝi havas fazon agordeblan, pulskontroleblan, ciferecan agordon kaj aliajn funkciojn. Aplikeblaj kampoj: fotovoltaika industrio, plata ekrano, duonkondukta industrio, kemia industrio, laboratorio, scienca esplorado, fabrikado, ktp.
Aplikeblaj procezoj: plasmo-plifortigita kemia vapora demetado (PECVD), plasma-gravurado, plasmo-purigado, radiofrekvenca jonfonto, plasmo-difuzo, plasmo-polimeriga ŝprucado, reaktiva ŝprucado, ktp.