ພະລັງງານ RF

ການສະໜອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RHH ອີງໃສ່ເທັກໂນໂລຢີການຜະລິດ RF ທີ່ທັນສະໄໝເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີແຫຼ່ງສະໜອງພະລັງງານ RF ທີ່ມີພະລັງງານສູງກວ່າ, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງກວ່າ ແລະ ການຕອບສະໜອງໄວ. ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄລຍະໄດ້, ຄວບຄຸມກຳມະຈອນໄດ້, ປັບດິຈິຕອລ ແລະ ໜ້າທີ່ອື່ນໆ. ຂົງເຂດທີ່ໃຊ້ໄດ້: ອຸດສາຫະກຳແສງອາທິດ, ອຸດສາຫະກຳຈໍສະແດງຜົນແບບຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸດສາຫະກຳເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.
ຂະບວນການທີ່ນຳໃຊ້ໄດ້: ການວາງໄອນ້ຳເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍ plasma (PECVD), ການແກະສະຫຼັກ plasma, ການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma, ແຫຼ່ງໄອອອນຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ, ການແຜ່ກະຈາຍ plasma, ການສະເປເຕີຣິເຊຊັນ plasma, ການສະເປເຕີຣິວເຕີ, ແລະອື່ນໆ.