RF teljesítmény

Az RHH sorozatú RF tápegység kiforrott RF generációs technológiára támaszkodik, hogy nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyorsabb válaszidejű RF tápegységet biztosítson az ügyfeleknek. Fázisbeállítással, impulzusvezérléssel, digitális hangolással és egyéb funkciókkal rendelkezik. Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, síkképernyős kijelzők ipar, félvezető ipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.