RHH сериясындагы RF кубат менен камсыздоо кардарларга жогорку кубаттуулуктагы, жогорку тактыктагы жана тез жооп берүүчү RF кубат менен камсыздоону камсыз кылуу үчүн жетилген RF генерациялоо технологиясына таянат. Фазаны орнотууга, импульсту башкарууга, санариптик жөндөөгө жана башка функцияларга ээ. Колдонулуучу тармактар: фотоэлектрдик өнөр жай, жалпак панелдүү дисплей өнөр жайы, жарым өткөргүчтөр өнөр жайы, химия өнөр жайы, лаборатория, илимий изилдөө, өндүрүш ж.б.
Колдонулуучу процесстер: плазма менен күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүү (PECVD), плазманы оюу, плазманы тазалоо, радио жыштыктагы ион булагы, плазманын диффузиясы, плазма полимерлештирүү чачыратуу, реактивдүү чачыратуу ж.б.