Công suất RF

Bộ nguồn RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo xung RF tiên tiến, cung cấp cho khách hàng bộ nguồn RF mạnh mẽ hơn, độ chính xác cao hơn và tốc độ phản hồi nhanh hơn. Sản phẩm tích hợp các chức năng như cài đặt pha, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và nhiều chức năng khác. Ứng dụng trong các lĩnh vực: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, lắng đọng phún xạ trùng hợp plasma, lắng đọng phún xạ phản ứng, v.v.