Potência de RF

A série RHH de fontes de alimentação de RF utiliza tecnologia de geração de RF consolidada para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação com maior potência, precisão e resposta rápida. Possui funções como ajuste de fase, controle de pulso e sintonia digital. Aplicações: indústria fotovoltaica, indústria de telas planas, indústria de semicondutores, indústria química, laboratórios, pesquisa científica, manufatura, etc.
Processos aplicáveis: deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD), gravação a plasma, limpeza a plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica por polimerização a plasma, pulverização catódica reativa, etc.