RF-vermogen

De RHH-serie RF-voedingen maakt gebruik van beproefde RF-generatietechnologie om klanten te voorzien van RF-voedingen met een hoger vermogen, grotere precisie en snelle respons. De voedingen beschikken over instelbare fase, regelbare pulsen, digitale afstemming en andere functies. Toepassingsgebieden: fotovoltaïsche industrie, beeldschermindustrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratoria, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.
Toepasselijke processen: plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), plasma-etsen, plasma-reiniging, radiofrequente ionenbron, plasma-diffusie, plasma-polymerisatie-sputteren, reactief sputteren, enz.