आरएफ पॉवर

RHH मालिका RF वीज पुरवठा ग्राहकांना अधिक शक्ती, उच्च अचूकता आणि जलद प्रतिसादासह RF वीज पुरवठा प्रदान करण्यासाठी परिपक्व RF जनरेशन तंत्रज्ञानावर अवलंबून आहे. फेज सेट करता येतो, पल्स नियंत्रित करता येतो, डिजिटल ट्यूनिंग आणि इतर कार्ये. लागू क्षेत्रे: फोटोव्होल्टेइक उद्योग, फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले उद्योग, सेमीकंडक्टर उद्योग, रासायनिक उद्योग, प्रयोगशाळा, वैज्ञानिक संशोधन, उत्पादन इ.
लागू प्रक्रिया: प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (PECVD), प्लाझ्मा एचिंग, प्लाझ्मा क्लीनिंग, रेडिओ फ्रिक्वेन्सी आयन सोर्स, प्लाझ्मा डिफ्यूजन, प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन स्पटरिंग, रिअॅक्टिव्ह स्पटरिंग इ.