กำลังไฟฟ้า RF

แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RHH อาศัยเทคโนโลยีการสร้างสัญญาณ RF ที่พัฒนาแล้ว เพื่อมอบแหล่งจ่ายไฟ RF ที่มีกำลังสูงกว่า ความแม่นยำสูงกว่า และตอบสนองรวดเร็ว พร้อมฟังก์ชั่นการตั้งค่าเฟส การควบคุมพัลส์ การปรับจูนแบบดิจิทัล และฟังก์ชั่นอื่นๆ เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ อุตสาหกรรมจอแสดงผลแบบแบน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมเคมี ห้องปฏิบัติการ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การผลิต ฯลฯ
กระบวนการที่เกี่ยวข้อง: การตกตะกอนไอสารเคมีแบบเสริมด้วยพลาสมา (PECVD), การกัดด้วยพลาสมา, การทำความสะอาดด้วยพลาสมา, แหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายของพลาสมา, การสปัตเตอร์พอลิเมอไรเซชันด้วยพลาสมา, การสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา ฯลฯ